Bronkhorst金属密封气体质量流量测量仪表

高纯度气体应用

Bronkhorst金属密封气体质量流量测量仪表和控制器以其*的、全金属密封结构为特征。除此之外，该款流量计还以其高性能、高质量将其与市场上的其它产品区分开来，因此，该款仪器特别适合于半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量测量仪表和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。

• 小流量范围：0.12…6 mln/min
• 大流量范围： 1… 50 ln/min

目前市场上的仪表都内置集成数字电路板，从而使仪表具有高精度、超稳定的温度以及快速的反应时间的特点（可设置的时间从 t98 可以低至500 msec）。新的EL-FLOW® 设计风格的产品具有多气体/多范围功能，从而为客户（OEM）提供了可选的灵活性以及高效率工艺。为了方便客户，布琅轲锶特高科技公司还提供了免费的且方便运用的配置软件。

特点

• 精度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)
• 可进行重复密封的全金属外部密封结构（无密封圈）
• 电抛光过流部件
• 无尘组装
• 多介质/多范围可调节功能
• 模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接：
  DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS
• 无零飘（不需要零点自动调整电路）
• 高精度、重复性高

 Bronkhorst流量计常用型号：
F-201EV-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar HCL
F-201CV-500-PAD-88-E VCR1/4"0.008-0.4 2.5bar/1.5bar H2S
F-201CV-10K-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CO2
F-201CV-2K0-PAD-88-V VCR1/4"0.05-2.5 2.5bar/1.5bar CO
F-201CV-5K0-PAD-88-V VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CH4
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5bar N2
F-201AV-70K-PAD-88-V VCR1/4"1.5-75 2.5bar/1.5bar H2
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5barH2
F-201CV-20K-PAD-88-V VCR1/4"0.4-20 2.5bar/1.5bar H2
M14+C2I VCR1/4" 20℃ 20-1000g/h 1.5bar/0.9bar TiCl4液体
M13+C2I VCR1/4" 20℃ 2-100g/h 1.5bar/0.9bar CH3CN液体