*bronkhorst气体金属密封质量流量控制器

EL-FLOW金属密封F-201CM

气体金属密封质量流量控制器

• 获得专li的金属对金属密封结构可确保长期密封（对大气）
• 电抛光的润湿零件
• 洁净室组装
• 高精度，高重复性
• 多气/多量程功能（可选）
• 快速建立时间（低至600毫秒）

金属密封气体质量流量控制器

Bronkhorst的®  特别设计模型F-201CM质量流量控制器（MFC），以满足市场的SEMICON以及其他高纯度气体应用的要求。该仪器具有较高的表面质量，并且采用金属对金属密封的模块化结构，可确保长期的密封性。F-201CM适用于在真空和1000 psig（64 bar）之间的工作压力下精que测量和控制流量范围，范围从0.12…6 sccm到1…50 slm（基于N 2）。

EL-FLOW ®  金属封闭系列配备有数字印制电路板，提供高精度，优良的温度稳定性和快速响应。主数字电路板包含测量和控制所需的所有常规功能。除了标准的RS232输出外，仪器还提供模拟I / O。作为一种选择，一个板上接口可被安装到提供的DeviceNet™，PROFIBUS DP，MODBUS，EtherCAT的®，PROFINET或FLOW-BUS协议。的EL-FLOW ®  金属密封设计提供可选的多气体/多范围功能，提供（OEM-）客户jia的灵活性和工艺效率。

德国 bronkhorst
F-201EV-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar HCL数量2
F-201CV-500-PAD-88-E VCR1/4"0.008-0.4 2.5bar/1.5bar H2S数量1
F-201CV-10K-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CO2数量1
F-201CV-2K0-PAD-88-V VCR1/4"0.05-2.5 2.5bar/1.5bar CO数量1
F-201CV-5K0-PAD-88-V VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CH4数量1
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5bar N2数量1
F-201AV-70K-PAD-88-V VCR1/4"1.5-75 2.5bar/1.5bar H2数量1
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5barH2数量1
F-201CV-20K-PAD-88-V VCR1/4"0.4-20 2.5bar/1.5bar H2数量1
M14+C2I VCR1/4" 20℃ 20-1000g/h 1.5bar/0.9bar TiCl4液体数量1
M13+C2I VCR1/4" 20℃ 2-100g/h 1.5bar/0.9bar CH3CN液体数量1